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溅射薄膜压力传感器的特点及组成原理
编辑:www.csppm.com来源:澳门新葡萄京所有网站时间:2014/7/8 9:33:50

    溅射式的压力敏感元件是在10级超净间内,通过微电子工艺制造出来的。即在高真空度中,利用磁控技术,将绝缘材料、电阻材料以分子形式淀积在弹性不锈钢膜片上,形成分子键合的绝缘薄膜和电阻材料薄膜,并与弹性不锈钢膜片融合为一体。再经过光刻、调阻,温度补偿等工序,在弹性不锈钢膜片表面上形成牢固而稳定的惠斯顿电桥。此电桥便是仪表、传感器等测量器件中的基本环节。当被测介质压力作用于弹性不锈钢膜片时,位于另一面的惠斯顿电桥则产生正比于压力的电输出信号。将此信号经放大调节等处理。再配以适当的结构,就成为应用于各个领域中的压力传感器和压力变送器。

    目前市场上常见的压力传感器有扩散硅式、差压电容式、陶瓷压阻式、金属应变片粘贴式等多个品种。溅射薄膜式压力传感器是近几年来刚刚迈入市场的后起之秀。它的一大突出特点是受温度影响小。在温度变化100℃时,零点漂移仅为0.5%。其温度性能远远优于扩散硅式压力传感器。其次它的耐高温性也非常的优越,工作介质温度可以直接测量-20℃~420℃比市面上一般的压力传感器适用温度范围更宽。

    由于溅射式以惠斯顿电桥与弹性不锈钢膜片间有很好的匹配并成为一体,而不存在任何胶粘剂。所以比粘贴式应变片传感器显示出高的长期稳定性与可靠性。

    钛合电子生产的溅射薄膜压力传感器采用的是离子束溅射薄膜技术,高灵敏的压力芯体全焊接封装在不锈钢壳体内,具有准确度高、输出信号大、工作寿命长、适用温度范围宽、长期稳定性好,功耗低、无迟滞、重复性好等特点。耐受频繁压力冲击、振动,5倍以上压力过载,主要应用于高端工业现场和军事装备。 

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