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薄膜应变传感器的特点
编辑:www.csppm.com来源:澳门新葡萄京所有网站时间:2015/10/30 14:12:03

       薄膜型电阻应变计时目前高精度传感器中很有前途的应变计,它虽早在20世纪50年代初就有人提出,但由于遇到许多方面的工艺困难,制成的薄膜稳定性差无法实用。20世纪70年代初其工艺技术有所突破,薄膜应变传感器已比较成熟。对于金属薄膜应变计而言,比较成熟的工艺方法有两种:一种是真空蒸发,二十溅射式阴极扩散。由于溅射的分子具有大的能量,不像蒸发只凝结在表面,故附着力强,膜的性能好,这种应变计的特点是:电阻值比箔式应变计高,形状和尺寸也比箔式应变计更小更精确;它没有箔式应变计腐蚀所引入的疵病;制成的结构散热良好,对于较宽的温度范围也可达到较完善的补偿;特别是近年由于机关个调阻技术的发展,提高了电阻值的精度,可达0.01%。尤其突出的是:陶瓷绝缘代替了胶接,既避免了复杂的分选和粘贴技术,而且对胶多引入的漂移、蠕变、疲劳弱点都有很大的克服。自制的传感器可达到较高的水平。

       溅射薄膜应变传感器,国内外都有产品,国外以汤姆逊企业为例:传感器的工作温度由-150~+150℃,总误差为±0.1%。应变计为长400μm、宽25~40μm、厚0.5μm镍铬膜,弹性元件为不锈钢,用二氧化硅隔离和保护,壳体与基座用电子束焊接。传感器装在飞机上,飞机飞行600次之后,传感器零点变化为60μV。美国Bell Howell企业CEC1000型薄膜应变式压力传感器,恒温恒压1000h,传感器的零漂仍小于0.1%。如换用应变材料(用铬或铂铱)及基底材料(600℃用铝,800℃用蓝宝石),应用薄膜工艺还能做成更高温度的传感器。

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