咨询热线 :0731-85670552
资讯中心
澳门新葡萄京所有网站-【www.55402com】

电 话:0731-85670552
    0731-82561520
    0731-85115710

投诉:0731-85115710(分机号8002
传 真:0731-85665625
邮 编:410000
网 站:www.csppm.com
Email:sales@csppm.com
地 址:长沙市雨花区
环保中路188号国际企
业中心7栋A座4层


压阻式压力传感器的设计与制造
编辑:www.csppm.com来源:澳门新葡萄京所有网站时间:2015/11/2 16:07:29

      阻式压力传感器的设计主要包括三个方面,一是敏感元件设计,它由力敏电阻全桥在弹性元件上的合理布局的光刻版图设计和实现既定电桥性能和既定弹性元件形状与尺寸的工艺设计两部分组成;二是装配结构设计,根据测压类型不同、使用介质不同等,它要完成密封、隔离、压力接口等功能,而其设计重点与难点在于实现敏感元件的无应力封装;三是补偿电路及接口电路设计。

     在应变式传感器一章中,已对直流电阻电桥进行了分析。由于四差动臂惠斯顿全桥具有最高灵敏度、最好的温度补偿性能和最高的输出线性度,因此,绝大多数压阻式压力传感器采用了等臂的、等电阻应变率的四差动臂惠斯顿全桥作为敏感检测元件。实现等应变率的关键是在传感器选定弹性元件上的合理位置上的合理布局。

     选用周边固支的膜片作为弹性元件比之用需要附加隔离传压膜的梁式弹性元件更适合于压阻式压力传感器由于设计的灵活性,何种压力传感器选用何种弹性膜片很难一概而论。一般的设计原则是微型探针式、导管端式传感器和高频、高压传感器多选用圆平膜片设计;微型导侧壁式传感器则多选用矩形平膜设计;低量程的差压传感器多选用E型膜片或双岛膜片设计,前者对双端对称性有利,后者则在同等精度下有最高的输出灵敏度;微量程的差压传感器多选用EI型膜片或各种应力集中的复合梁膜结构设计;机械研磨法制造的传感器选用圆平膜、E型膜或EI型膜,而微机械加工法制造的低成本传感器都选用矩形或方形平膜。

XML 地图 | Sitemap 地图