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微传感器概况
编辑:www.csppm.com来源:澳门新葡萄京所有网站时间:2015/12/31 15:57:32

     传感器是指敏感元件的特征尺寸从几微米到几毫米的传感器的总称。它包括三个内容:一是指微型传感器,通常它是单一功能的简单传感器,其敏感元件工艺一般与集成工艺相容,如集成传感器、固态传感器等,目前已有商品化产品;二是指具有微机械结构敏感元件的机电一体化的微结构传感器,如微电容式加速度传感器、微谐振梁式压力传感器等,其制造工艺具有微机械加工特点,是国际微传感器技术研究的重点之一;三是指包含有数字接口、自检、CPU、数字补偿合总线兼容等功能的微传感器系统。

    传感器与微加工技术对于军用具有重要意义,军用传感器的品种愈来愈多,除了物理量外还有化学量、生物量。微机械加工技术是现代新型传感器技术的基础,它不仅可制成简单的三维结构,而且可以做成三维运动结构(如转子流量计)与复杂的力平衡加速度计(欧洲航天局已经发展了这种产品)。同样,他亦是新型化学传感器与生物传感器发展的基础。

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