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压阻硅压力传感器的主要特点
编辑:www.csppm.com来源:澳门新葡萄京所有网站时间:2017/1/10 11:31:42

       压阻硅压力传感器是利用硅的压阻效应,采用集成电路工艺技术及一些特殊工艺,制成应变电阻构成的惠斯通电桥,利用硅的弹性力学特性,集应力敏感与力电转换检测于一体的传感器。以气体或液体压强为检测对象的成为固态压阻硅压力传感器,压阻硅能做成单片式多功能复合敏感元件,是智能传感器的基础。压阻硅压力传感器的主要特点有:

       一、灵敏度高。硅应变电阻的灵敏度比金属应变片高50~100倍,因此传感器的灵敏度很高,一般满量程输出可以达到100mV左右。同时由于它是一种非机械结构传感器,因而分辨率极高,仅受限于外界的检测读出仪表和噪声干扰限制,一般可达到传感器慢量程的十万分之一。压阻硅压力传感器在零点附近的低量程段无死区。

       二、精度高。由于固态压阻压力传感器的感压元件、敏感元件和检测部分由同一个元件实现,没有中间转换环节,所以重复性好,迟滞和误差极小。单晶硅本身刚度很大,形变很小,因此综合精度高。

       三、体积小、重量轻、动态频响高。芯体采用集成工艺,没有传动部件,所以体积重量轻。硅的弹性模数极高,所以敏感元件的固有频率很高。特别适用于动态压力测量。

       四、温度系数小、性能稳定可靠。由于微电子技术的进步,再加上激光调修技术、计算机自动补偿技术的进步,压阻硅压力传感器的零位与灵敏度温度系数变的很小。而且压阻硅弹性形变小,因此基本上无磨损、无疲劳、无老化。

       五、适用介质广。硅具有优良的化学防腐性能,与硅油的良好兼容性,易于实现隔离式结构,即使非隔离式的压阻硅压力传感器,对介质的适应性也是非常好的。

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