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压力传感器制造中常用的几种工艺
编辑:www.csppm.com来源:澳门新葡萄京所有网站时间:2017/4/24 17:08:18

       压力传感器在现代工业控制中的应用已经非常深入,不同的行业以及应用环境对压力传感器的要求不一样,所以压力传感器的制造也有好几种工艺,各种工艺都有自己的特点。主要的制造工艺目前来说有下面四种:集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器和陶瓷传感器。

       1.集成压力传感器。集成传感器的生产工艺,和生产标准硅基半导体集成电路工艺是基本相同的。传感器通过集成方式进行制造后,可以获得更小的体积并集成更多的功能,部分集成传感器可以拥有一部分处理功能,来处理被测量信号。
  2.薄膜压力传感器。薄膜传感器的制造涉及了纳米等先进技术,薄膜传感器的制作方法是在介质衬底也就是基板上,用敏感材料形成一层薄膜。薄膜传感器在制作时也可以复合一些电路系统,这需要使用到混合工艺。
  3.厚膜压力传感器.厚膜传感器和薄膜传感器相对应,也是在基片上形成膜来进行制造,区别是厚膜传感器是在陶瓷制造的基片上,用敏感材料的浆料进行涂覆。厚膜传感器的制造材料多是氧化铝,涂层形成后进行热处理,这样厚膜即可成型。
  4.陶瓷压力传感器.陶瓷传感器即新工艺的应用也是传统材料的应用,陶瓷传感器所使用的陶瓷材料是精细陶瓷也被称为高科技陶瓷,陶瓷传感器的制造主要是依靠标准的陶瓷工艺或变种的溶胶工艺,完成适当的预备性操作之后,将成形的元件在高温中进行烧结。

      传感器的各种制造工艺之间并没有明确的优劣之分,各个制造工艺都有自己的优点和不足,只是在面对不同的应用时对压力传感器有不同的选择。比如电子消费产品中应用的传感器都是采用集成式的,而在面对一些腐蚀性介质的时候,选用陶瓷压力传感器更为合适。

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