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溅射薄膜压力传感器的特点
编辑:www.csppm.com来源:澳门新葡萄京所有网站时间:2019/3/1 8:56:56

溅射薄膜压力传感器采用的是离子束溅射薄膜技术,全不锈钢一体化结构且具有高灵敏度压力芯体,全焊接封装在不锈钢壳体内,长沙钛合制造的溅射薄膜压力传感器具有准确度高,输出信号大,适应温度范围宽,功耗低、无迟滞等特点。


众所周知,压力最核心的元件是压力传感器或变速器,压力可以通过很多种方式进行测量,但是它的原理归结为两类:电桥和电容式。

电桥:用比较法测量各种量的仪器。作为测量电路,在四边形的一条对角线两端接上电源,另一条对角线两端接指零仪器。调节桥臂上某些元件的参数值,使指零仪器的两端电压为零,此时电桥达到平衡。

澳门新葡萄京所有网站都知道电阻会因为电压的大小而变化,配置于弹性膜片上的电桥电阻,在压力的作用下容易致使其变形或者被压缩,而csppm电桥由金属电阻或压阻材料构成,压阻电桥由于晶格掺杂效应以及机械变形,能提供较大输出信号;金属电阻则采用的多种技术将电桥固定于膜片之上。


电容式:测量两片导电板的电容值,在压力作用下,导电板被迫挤合,使电容值随压力的变化而变化。电容式压力传感元件采用MEMS技术由陶瓷构成,或将金属嵌入半导体层中。传感元件固定(融合)于金属/玻璃密封体或装入充油腔中。再经过微电子工艺制作出需要的csppm电桥,组成全金属型敏感元件,无任何粘贴剂和活动件,无需密封腔和充油腔,因此具有适用恶劣环境和长期稳定性工作的特点。

溅射薄膜压力传感器的特点:具有长期稳定性、温度内补偿等。


产品应用范围:发动机、内燃机、热电机组、汽轮机、水轮机、机车制动系统;水下潜入设备、飞机液压系统;油田油井测压仪器;石化、环保、轻工、机械、冶金、水处理、医药、生化、发酵系统等领域。


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