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耐高温压力传感器的发展及现状
编辑:www.csppm.com来源:澳门新葡萄京所有网站时间:2019/7/16 9:36:39
高温压力传感器广泛应用于火箭发动机、航空发动机、重型燃气轮机、燃煤燃气锅炉等动力设备燃烧室的压力监测。经过二十多年的研究,高温压力传感技术领域取得了丰硕的成果.在对敏感芯片主要材料分类的基础上,讨论了高温压力传感器的研究现状。重点分析了基于SOI、SiC、蓝宝石、共烧陶瓷、压电晶体、SiCN陶瓷等材料的高温压力传感器的特点和局限性,以及国内外的发展现状。

高温压力传感器是一种硅压阻式压力传感器.用SOI单晶硅薄膜制备的压阻带比多晶硅薄膜具有更高的灵敏度,在高温下仍具有更好的压阻效应。在相同尺寸下,SOI结构的漏电流比硅PN结的漏电流低三个数量级,因此SOI材料适合开发高温压力传感器。

高温压力传感器是20世纪80年代发展起来的一种薄膜应变式压力传感器,用于在蓝宝石晶体上外延生长单晶硅薄膜,并通过干法刻蚀制备硅压阻结构。SOS高温压力传感器具有频带宽、耐腐蚀、抗辐射等优点

蓝宝石光纤式高温压力传感器
光纤式传感器具有测量精度高、抗电磁干扰、抗辐射、工作温度高、易组网、可实现多参量测量等优点,适合应用于燃气轮机、航空/航天发动机等高温恶劣环境。

陶瓷的高温压力传感器
SiCN是一种新型聚合物转化非晶陶瓷,具有密度低、耐高温、抗氧化、热稳定性好等优点。1800℃时仍处于非晶态,1500℃时能长期保持良好的力学性能,具有优良的电性能。通过不同的掺杂,它可以具有低电阻率或高电压电阻系数的特性。在高温领域具有广阔的应用前景。

压阻式高温压力传感器
压阻压力传感器具有灵敏度高、工艺简单、可靠性高的优点。

电容式压力传感器
电容式压力传感器具有灵敏度高、动态响应快、温度稳定性高等特点。

无线式压力传感器主要有以下几种:基于LC谐振的压力传感器、基于声表面波SAW的压力传感器以及基于微波反向散射的压力传感器。高温压力传感器已经研究了近二十年,但还没有相关产品的报道。无线压力测量的距离是制约此类传感器发展的最大瓶颈。由于电感的有效耦合距离等于线圈的外径,传感器面临着小型化与可靠性之间的矛盾。






















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