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传感器技术涉及多学科的交叉,它的设计需要多学科综合理论分析。随着新型敏感材料的加速开发,微电子、光电子、生物化学、信息处理等各学科、各种新技术的相互渗透和综合利用,已使一批先进、新颖的传感器先后问世。比如:智能传感器、模糊传感器、光纤传感器、基因传感器、生物传感器以及超导传感器等。
传感器材料是传感器技术的重要基础,材料科学的进步,使得人们可以制造出各种新型的传感器。比如,利用高分子聚合物薄膜材料制成温湿度传感器,能随周围环境的相对湿度大小成比例地吸附和释放水分子。其介电常数小,因此,水分子能提高聚合物的介电常数。利用此原理制成的温湿度传感器测湿测温范围宽,响应速度快。
压力、流量、温度、物位等传感器可用光导纤维制成。当温度、压力、电场、磁场等环境条件变化时,引起光纤传输的光波强度、相位、频率、偏振态等变化,通过测量光波源的变化,就可以知道导致这些光波量变化的温度、压力、电场、磁场等物理量的大小,这就是光导纤维传感器的基本原理。
硅传感器的研发应用和半导体工业将更加有力地带动传感器的工艺制造技术,而微处理器和计算机也将进一步带动新一代智能传感器和网络传感器的发展。传感器的规模化生产由传统的机械加工方式向微机械加工方式过渡。半导体技术中的加工方法有氧化、光刻、扩散、沉积、平面电子工艺,各向导性腐蚀及蒸镀,溅射薄膜等,这些都已引进到传感器制造中去,因而产生了各种新型的传感器。